Ceramaseal®电极

真空密封陶瓷电极

Ceramaseal®陶瓷电极是用来从真空腔体外部向其内部提供电信号,气体或流体传送同时保持其密封性的装配组合

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值得知道:

Ceramseal®电极应用

  • 半导体处理设备
  • 粒子加速器
  • 熔炉
  • 分析设备
  • 真空环境下的涂层应用
  • 卫星仪器
  • X-Ray设备

Ceramaseal®的电极可用于同时需要密封和电绝缘的应用上。陶瓷金属化的电极可保证高真空和超高真空密封,同时可保证其在高温,低温,高压力和腐蚀性化学品等环境下应用。

Ceramaseal®的陶瓷金属化电极由安装性,绝缘性和导体材料组成。互联的方法是具有弹性且可根据客户要求定制。Ceramtec可提供Ceramaseal电极和连接器很宽的选择。Ceramaseal®电极可分为以下几种类型:

  • 用于低电压的电极(最大到12kv)
  • 水冷和射频电极
  • 高压电极(20到100kv)

Ceramaseal®高频和超高频电极可应用于包括溅射,等离子和感应加热等各种射频应用领域

值得知道:

Ceramaseal®电极标准参数

  • 电压最高到125KV
  • 电流最高到1000安
  • 最高可安装41针
  • 温度范围:-269°C到450°C
  • 内部压力:1x10-10托到207巴

可根据客户要求定制

  • 提供多种电极法兰装配
  • 最多可提供940针
  • 可设计最大到180KV DC
  • 电流最高超过2500安
  • 压力最高到1,380巴

材料,金属化,组装和安装

标准的Ceramaseal电极组成:
(1)导体(2)垫圈(3)Cap(4)绝缘体(5)套管(6)焊接衬套
 

Ceramaseal®陶瓷电极只使用无机的材料。绝缘体由高密度,高强度,低损耗的氧化铝陶瓷制成。金属包括Kovar®,不锈钢,镍,铜,镍铁合金,铜-镍合金,钼钢,铝合金和Constantan®.在无电晕的设计中,标准设计需考虑电学特性如击穿,电晕击穿,徐变,压电强度和耐穿刺性。

焊接材料使用银,铜,银-铜合金或金-铜合金。金属化过程根据电极尺寸,几何形状和性能的需要包括难熔金属和活性金属金属化。Ceramtec使用先进的技术和方法来控制关键步骤,包括100%氦检漏测试和X-ray测量来控制金属化过程。

Ceramaseal®陶瓷电极标准安装方式包括:

  • 铜焊
  • 氩弧焊,激光焊,电子束焊
  • KF法兰
  • CF法兰
  • NPT
  • 1"基盘

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